>供應>智能控制>現(xiàn)場總線>CAN>Canon-machinery FPA-5550iZ 步進式光刻機 深圳市東測科技有限公司公司現(xiàn)貨銷售、租賃惠普（安捷倫）、泰克、安立、愛得萬、橫河、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S…
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更新日期2022-03-15 11:11
品牌： |
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所在地： |
廣東 深圳市 |
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Canon-machinery FPA-5550iZ 步進式光刻機
佳能在2001年成功推出FPA-5500之后，在此平臺上又開發(fā)了FPA-5550iZ高速i線步進式光刻機。本產(chǎn)品完全滿足超大規(guī)模內(nèi)存生產(chǎn)商對生產(chǎn)設備的高生產(chǎn)率及高運行穩(wěn)定性的要求。
通過采用高加速性能的工作臺，縮短硅片的曝光時間，優(yōu)化硅片的傳送時點使FPA-5550iZ的生產(chǎn)能力相對于其前任產(chǎn)品-FPA-5510iZ，有了50%的大幅提高，而且對準精度也得到了改善。?FPA-5550iZ集FPA-5500系列產(chǎn)品之大成，為超大規(guī)模300mm硅片制造商提供了高生產(chǎn)能力的優(yōu)良產(chǎn)品。
為了滿足客戶的要求，F(xiàn)PA-5550iZ產(chǎn)品還提供了SMIF選項。SMIF的應用，使掩模板裝入及退出實現(xiàn)完全自動化，極大的提高了生產(chǎn)效率。同時也可滿足小生產(chǎn)線的靈活的手動要求。
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